آلة طلاء الفراغ الاخرق مقدمة عملية الاخرق

آلة طلاء الاخرق بالتفريغ تستخدم بشكل رئيسي في جانبين من التنميش بالخرق وترسيب الأغشية الرقيقة. أثناء الحفر بالرش ، يتم وضع المادة المراد حفرها في الموضع المستهدف ويتم قصفها بواسطة أيونات الأرجون للحفر. يرتبط معدل الحفر بعوامل مثل إنتاجية الرش للمادة المستهدفة ، وكثافة تيار الأيونات ودرجة الفراغ في غرفة الرش. أثناء الحفر بالرش ، يجب إزالة أكبر قدر ممكن من الذرات المستهدفة المتناثرة من غرفة الرش.

تتمثل إحدى الطرق الشائعة في إدخال غاز تفاعلي للتفاعل مع ذرات الهدف المتناثرة لتوليد غاز متطاير ، والذي يتم تفريغه من غرفة الرش من خلال نظام تفريغ. عند ترسيب الأغشية الرقيقة ، يتم وضع مصدر الاخرق على الهدف ، ويحدث الاخرق بعد قصفه بأيونات الأرجون. إذا كانت المادة المستهدفة بسيطة ، فسيتم تشكيل فيلم بسيط من المادة المستهدفة على الركيزة ؛ إذا تم إدخال الغاز التفاعلي بوعي في غرفة الرش ، فسوف يتفاعل كيميائيًا مع ذرات الهدف المرشوشة ويترسب على الركيزة ، A مركب يمكن تشكيل فيلم من المادة المستهدفة. عادة ، يتم الحصول على أغشية رقيقة مركبة أو سبيكة عن طريق الرش المباشر بأهداف مركبة أو سبيكة. في عملية الرش ، تتناثر الذرات المتناثرة بعد تبادل الطاقة مع أيونات عالية الطاقة بآلاف الإلكترونات فولت ، وتكون طاقتها عالية ، وغالبًا ما تكون من 1 إلى 2 مرتبة أعلى من تلك الموجودة في الذرات المتبخرة. يكون التصاق الغشاء بالركيزة أفضل من التبخر. إذا كانت الركيزة منحازة بشكل صحيح أثناء الرش ، فيمكن أخذ تنظيف الركيزة في الاعتبار ، وهو أمر مفيد أيضًا لتغطية الخطوة للفيلم الذي تم إنشاؤه.

بالإضافة إلى ذلك ، يمكن استخدام طريقة الرش لتحضير أغشية مواد ذات درجة انصهار عالية وضغط بخار منخفض لا يمكن تحضيرها بالتبخير ، وهو أمر مناسب لتحضير أغشية رقيقة من المركبات أو السبائك. هناك طريقتان رئيسيتان للرش: رش شعاع الأيونات ورذاذ البلازما. في جهاز رش الشعاع الأيوني ، يقوم شعاع أيوني اتجاهي مع طاقة معينة يوفرها المدفع الأيوني بقصف الهدف لإنتاج رشاش. يمكن أيضًا استخدام المسدس الأيوني لتنظيف الركيزة ورش الهدف. لتجنب تراكم الشحنات على الأسطح الصلبة العازلة ، يمكن استخدام رش شعاع محايد بقوة. الشعاع المحايد هو نتيجة تحييد الأيونات الموجبة النشطة بواسطة الإلكترونات قبل الخروج من البندقية الأيونية. يستخدم الاخرق بشعاع الأيونات على نطاق واسع في أدوات تحليل السطح لتنظيف العينات أو تجريدها. نظرًا للحجم المحدود لبقعة الحزمة ، لا يزال من الصعب ترسيب أغشية رقيقة بسرعة على ركائز ذات مساحة كبيرة.

ال
يسمى رش البلازما أيضًا بتفريغ التفريغ المتوهج. تأتي الأيونات الموجبة المطلوبة لإنتاج الاخرق من البلازما في تفريغ متوهج. يجب أن يكون سطح الهدف عند إمكانات سلبية عالية. بعد أن يتم تسريعها بواسطة هذا المجال الكهربائي ، تكتسب الأيونات الموجبة طاقة حركية لقصف الهدف لإنتاج تطاير ، وفي نفس الوقت ، يكون قصف الإلكترونات على الركيزة أمرًا لا مفر منه .

يمكن أيضًا تقسيم عملية الاخرق المغنطروني لآلة الطلاء بالفراغ إلى عدة أنواع ، بما في ذلك بشكل أساسي الاخرق على مرحلتين ، ثلاث مراحل أو أربع مراحل الاخرق ، الاخرق المغنطروني ، الاخرق المستهدف ، الاخرق بالترددات الراديوية ، الاخرق المتحيز ، راديو التيار المتردد غير المتماثل الاخرق المتكرر ، الاخرق شعاع الأيوني ، الاخرق التفاعلي ، وما إلى ذلك ، تعتمد طريقة الاخرق للاختيار على قطعة الشغل المراد طلاءها ، ومادة قطعة العمل ، وطبقة الطلاء.